用于极端精密应用的新型Z轴压电纳米定位器

04-06-2015 | Aerotech. | subs& Systems

来自Aerotech的新型QNP-Z系列压电纳米定位阶段提供了
解决方案,线性,可重复性和高动态
从显微镜到光学对齐的最苛刻的应用程序。

分辨率为0.15nm,线性度为0.007%,重复性为1nm,
保证纳米级精度。具有高动态(谐振频率
和刚度)用户可以在严格的过程中实现更高的吞吐量。一种
各种旅行(100μm至600μm),反馈选项和真空版本
增加了这个阶段系列的卓越之歌。

QNP-Z压电阶段由优化的精度弯曲引导
使用有限元分析。由此产生的设计优惠
刚度和谐振频率(高达1050 Hz),实现高过程
吞吐量和快速闭环响应。这些阶段已经设计为
提供卓越的几何性能(直线度和角度误差)
虽然同时最小化整个阶段包装尺寸。

所有QNP压电阶段使用唯一提供可选的闭环反馈
子纳米分辨率和高线性度的电容传感器设计。
电容传感器测量定位托架的输出
直接,实现卓越的准确性和可重复性。

当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器相结合时,QNP Piezo
阶段展示子纳米定位分辨率和位置
稳定性(抖动)和高定位带宽。软件选项如
Aerotech的动态控制工具箱和运动设计师包提供了一个
高级但易于使用的工具,如学习控制,谐波
取消,并指挥整形,提供改进的跟踪错误和
更快的步骤和安置时间。

QNP压电级可提供电容传感器反馈或
没有反馈(开环)。开环提供了成本效益的选项
尺寸紧凑,高动态和子纳米的应用
需要定位分辨率,但绝对定位准确性和
不需要重复性。也可以使用开环设计
压电位置通过外部反馈源控制
(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)。

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